超精密加工事例

本製品は、ハードディスク検査装置に使用される超精密エアスピンドルの軸受ユニットです。内部には複雑なエア流路と極細計のオリフィス機構が設けられており、安定した回転性能を確保するため、真円度・直角度ともに1μmという高い加工精度が求められます。
この精度を実現するうえで重要になるのが、内面研削の基準となる平面の精度です。最初に平面研削によって平面度を可能な限り抑えた基準面をつくり、その面を基準として内径を研削します。さらに、加工時の心ズレを抑えながら、砥石の種類、研削条件、ドレスのタイミングや仕上げ粗さを調整し、要求精度へ仕上げています。
仕様によっては、組み合わせるシャフトの外径に合わせて内径を仕上げる現合加工にも対応します。平面研削、内面研削、測定を一体で管理することで、真円度2μm、円筒度3μm、直角度2μmを実現しています。