超精密加工事例

精密油圧検査装置に使用される油圧サーボ弁のスリーブです。材質はSUS440C、サイズはφ20×80mmで、内部を摺動する相手部品スプールとのクリアランス管理に極めて高い精度が要求される精密部品です。寸法公差0.002mm・円筒度0.002mmというミクロンレベルの幾何公差を満足する必要があり、内径の真円度・円筒度管理には高度な研削技術とホーニング加工を組み合わせて対応しています。端面および内径部はシャープエッジ形状の維持が必須であり、微細なバリも一切許容されません。そのため、拡大鏡を使用しながら丁寧かつ確実に仕上げ処理を実施し、品質を確保しています。軸方向の寸法精度についても0.01mmレベルの公差を実現しており、複数の厳しい精度項目を同時に満足させる総合的な加工技術が求められます。加工工程は旋盤による精密切削を起点に、焼入焼戻による熱処理、研削、ワイヤーカット、ホーニングまでの全工程を一貫体制で対応しており、SUS440Cの高硬度材における超精密内径加工技術が高い信頼性を支えています。