エア軸受の組立工程では、エア流路に洗浄液を送り、微細な異物や加工粉を除去する洗浄工程が不可欠です。しかし、環境対応のために洗浄力の弱い洗浄液へ切り替える必要が生じ、従来の流路では、十分な清浄レベルを達成できない問題が発生しました。エア軸受は微粒子レベルの異物でも性能に影響するため、十分な洗浄性を確保できないことは製品特性に直結する重大な課題でした。