Product Case Studies
超精密加工事例
超精密空気軸受け
- 製品名
- 空気軸受け
- 業界
- 産業機械
- アプリケーション
- スピンドル(精密電子部品の検査装置)
- 材質
- SUS420J2、SUS303、C5191b
- サイズ
- φ52×110
- 精度・幾何公差
- 真円度1μm、直角度1μm以下、Ra0.05
- 加工・熱処理
- 切削、硬質クロムメッキ、研削、ラップ
本事例は、精密電子部品の検査装置に使用される超精密エアスピンドルです。ステンレス鋼、銅系材料といった多様な材質を旋盤で切削し、熱処理、硬質クロムメッキ、研削、焼き嵌め、ラップ加工という多様な工程を経て製作されています。エアスピンドルの要である主軸を確実に浮上させるためには、真円度1μm以下、直角度1μm以下という極限の幾何公差が要求され、これを受ける軸受部にも同様の高精度が求められます。当社は長年の加工研究、工程開発でこれを高い次元でクリアしています。エア軸受という特性上、空気流路内に微小なバリが一点でも混入することは動作不良に直結します。そのため、熟練の作業員が顕微鏡を用いてミクロ単位のバリ取り作業を実施し、組立工程では清浄な空気が確保された環境で行うことで、製品の信頼性を担保しています。30年以上にわたり10機種以上の生産実績を積み重ねてきた本製品は、現在も全数検査による厳格な品質保証を行い、その検査データは10年以上保管する体制を整えています。1μmの振れ精度を確実に保証するエアスピンドルとして、当社の加工技術と精密組立技能が高度に融合した象徴的な量産事例となっています。